青岛育豪微电子设备有限公司111
青岛育豪微电子设备有限公司始建于2008年，公司座落在山东青岛，主厂区占地8000多平方米，建筑面积6000多平方米，职工80人，公司拥有省级研发技术中心一个，其中工程师8人，大专及同等以上学历占67%。公司通过吸引国内外先进的技术与自主研发相结合，不断创新。主要生产扩散炉、链式网带炉及真空炉等等额处理设备。多项产品获得国家发时、使用新型专利。公司拥有先进的制造设备和完善的检测手段。等进近百台专业精密制造设备与检测设备。为客户提供优质的产品，并可以按客户的要求设计加工。
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以人为本的经营理念
我们置员工的安全和身体健康为企业至高利益，竭尽所能保障员工的身体健康和安全，共享企业发展成果。
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以客户为上帝的销售理念
我们坚信客户就是上帝，我们会为客户提供最热情的服务，最优质的产品，***的价格，最完善的售后服务。对于客户的咨询与抱怨做到耐心的倾听，快速反应，解决到位。让我们的客户放心的使用我们的所有产品。
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以质量为根本的生产理念
质量是企业的立足之本，以质量为根本的生产理念是生产理念是企业名称所有员工的工作理念，确保不让一台有缺陷的设备流入市场，不让一台不完善的设备流入客户手中，**限度的提高 产品的合格率。
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以速度为中心的售后服务理念
公司售后部门在接到客户发来质量问题单之后，以最快的速度赶往客户产品现场，以最快的速度为客户排除故障，保障客户设备的正常运行。
太阳能扩散炉 主要技术指标：
★工作温度： 300~1300℃ ★有效口径根据用户扩散片确定，可订制
★恒温区长度： 1080mm（可根据用户要求定制）
★温区精度 (静态闭管测试)：600℃＜工作温度＜1200℃： ±0.5℃300℃≤工作温度≤600℃： ±1℃
★单点温度稳定性(静态闭管测试)：600℃＜工作温度＜1200℃： ±0.5℃/24h
300℃≤工作温度≤600℃： ±1℃/24h
★温度斜变能力：**可控升温速度(300～1300℃)：15℃/min **降温速度(1300～900℃)： 5℃/min
★气体流量设定精度： ±2％fs ★气路系统气密性： 1×10-7pa.m3/s
★自动送料装置行程： ~2000mm 速度： 5~1000mm/min sic浆承重 19kg
★装片数量： 400片/管★净化台洁净度 100级（10000级厂房）
★三相五线制 380v±10%，50hz±10%hz；★冷却水： 2～4kgf/cm2，～8l/min
太阳能电池扩散主要有开管扩散和闭管软着陆扩散两种形式
闭管磷扩散，带有工艺废气冷却定向回收装置，偏磷酸、cl2分开收集处理；工艺废气集中收集从尾部定向排出；各种工艺气体可分开送入石英管内，工艺气体(三氯氧磷)可采用喷淋式方式引入到石英管内。闭管软着陆扩散方式工艺过程完全不受外界环境干扰，工艺质量完全受保护。
自动化程度：自动控制温度及工艺过程。主控温控模块采用国外进口，可在达到±0.25℃的控制精度。
送取片方式：悬臂式推拉舟。采用侧面布局的悬臂推拉结构，可有效的防止偏磷酸下滴，造成推拉机构受腐蚀，影响推拉机构的精确性。
pecvd 设备主要特点
◆用工业微机对工艺时间,温度,气体流量,阀门动作,反应室压力实现全自动控制. ◆采用进口压力控制系统,闭环系统,稳定性高. ◆采用进口耐腐蚀不锈钢管件,阀门,确保气路气密性. ◆具有完善的报警功能及安全互锁装置. ◆具有超高温报警及欠温报警,mfc报警,反应室压力报警,rf报警,高压空气压力报警,n2压力报警.水流报警等。
类 型
◆工艺过程完全不受外界环境干扰，工艺质量完全控；有毒害尾气定向收集、集中处理排放；更加安全、环保。 ◆装片数量： 250片/每炉管 ◆净化台洁净度：100级（10000级厂房）◆自动化程度：自动控制温度及工艺过程。主控温控模块采用日本导电或同类品牌，可在达到±0.5℃的控制精度。◆送取片方式：悬臂式推拉舟。我公司推拉系统采用光杠传动系统，本系统比丝杠传动系统运行更平稳，避免了推拉舟长时间运行后由于丝杠变形引起的推拉舟的震动；防止突然断电时，丝杠抱死，拖不出炉膛。
设备主要技术指标
太阳能光伏扩散炉◆ 温度使用范围：150～600℃
◆ 极限真空度： 优于1pa
◆ 压力调节范围：13～300pa 连续可调，闭环控制
◆ 射频电源： 400khz连续可调
◆ 温区长度（150～400℃）：1000mm
◆ 温区稳定性（400℃）： ±2℃
◆ 温区稳定性（＜400℃）： ±3℃
◆ 温度梯度： 0～30℃/1000mm可调
◆ 淀积速率： 30nm/min
◆ 深层折射率： 1.9～2.2
◆ **可控升温速度：15℃/min
◆ **降温速度：5℃/min
◆工作温度： 300~1300℃ ◆有效口径根据用户扩散片确定，可订制 ◆恒温区长度： 1080mm（可根据用户要求定制） ◆温区精度 (静态闭管测试)： 600℃＜工作温度＜1200℃： ±0.5℃ 300℃≤工作温度≤600℃： ±1℃ ◆单点温度稳定性(静态闭管测试)： 600℃＜工作温度＜1200℃： ±0.5℃/24h 300℃≤工作温度≤600℃： ±1℃/24h◆温度斜变能力：**可控升温速度(300～1300℃)：15℃/min **降温速度(1300～900℃)： 5℃/min ◆气体流量设定精度： ±2％fs ◆气路系统气密性： 1×10-7pa.m3/s ◆自动送料装置行程： ~2000mm 速度： 5~1000mm/min sic浆承重 19kg ◆装片数量 400片/管 ◆净化台洁净度 100级（10000级厂房）◆三相五线制380v±10%，50hz±10%hz； ◆冷却水： 2～4kgf/cm2，～8l/min 太阳能电池扩散主要有开管扩散和闭管软着陆扩散两种形式◆闭管磷扩散，带有工艺废气冷却定向回收装置，偏磷酸、cl2分开收集处理；工艺废气集中收集从尾部定向排出；各种工艺气体可分开送入石英管内，工艺气体(三氯氧磷)可采用喷淋式方式引入到石英管内。闭管软着陆扩散方式工艺过程完全不受外界环境干扰，工艺质量完全受保护。◆自动化程度：自动控制温度及工艺过程。主控温控模块采用国外进口，可在达到±0.25℃的控制精度。◆送取片方式：悬臂式推拉舟。采用侧面布局的悬臂推拉结构，可有效的防止偏磷酸下滴，造成推拉机构受腐蚀，影响推拉机构的精确性炉体：产品介绍：yh-gw系列炉体主要用作半导体、功率器件、集成电路等行业中管式热壁系统的加热装置。可与美国tempress、美国tyan、美国thermco、荷兰asm、英国btu等国外多种型号扩散炉配套（替代进口），采用国外先进的加工工艺，选用进口材料，可处理2-8英寸硅片的扩散工作。 产品特性： ★尺寸：2-8寸 立式/卧式 ★加热炉丝：瑞典康泰尔高温炉丝★保温材料：英国摩根进口保温层★绝缘材料：高精度99瓷拉条绝缘子 ★使用温度：350℃—1300℃ ★外 壳：不锈钢板/铝板 ★端 口：优质氧化铝氧化锆 ★控温段：3-9段控温 ★口 径：φ80mm—φ450mm ★恒温区：100-1600mm

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青岛育豪微电子设备有限公司
陈庆建
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中国 山东 青岛市城阳区 流亭工业园 协荣路3号